德中技術FreeDo F5s 科研用紫外激光微納加工神器
FreeDo F5s采用超高精密移動平臺，適合多種苛求微細精密、敏感無損、干凈平齊的應用，以皮秒/飛秒“冷加工”為特色，解決陶瓷、石英、硅片、玻璃、藍寶石、等薄、脆、硬性材料，金屬、高分子等熱敏感材料和各種粘、皮、韌性材料加工難題。設備光源采取模塊化設計，可搭配多種波長、脈寬光源組合，配合高速的直線電機運動結構，適合大多數應用的制作，搭配的CircuitCAM數據處理軟件功能強大，可大幅優化加工路徑，操作系統內置多種加工模板，真正實現一鍵加工。
FreeDo F5s配制雙光路系統，同時可配置AOD（聲光偏轉器）模塊，還配置了高階打孔功能，可以實現輪廓圓、同心圓、螺旋線、沖孔等多種打孔模式，實現高效高質量打孔加工。AOD聲光偏轉替代機械掃描，無運動部件，改變頻率即可調整掃描位置，瞬時完成；響應速度快；改變振幅即可調整輸出功率，可做標定或實時反饋；MHz級別脈沖精準分配。適合高密度精細圖形批量加工，相比振鏡提速3-5倍。
此外，設備還有多種配套功能模塊可根據需求增加或者進行定制。設備標配自動上下料，可通過接入MES/EAP系統，組成自動化生產線。FreeDo F5s不僅適合教學、科研、軍工單位進行科研測試和小批量生產，也適合精密加工廠，專門做高精度、高效率的生產之用。
產品參數
技術參數 | FreeDo F5s |
激光器種類 | LightConversion超快激光器 |
激光器波長 | 紅外/紫外雙波段 |
激光器脈寬 | 250fs～10ps可調（采用半高全寬測量方式） |
激光器最大功率 | 20W |
掃描振鏡分辨率 | 1μm |
超短脈沖控制 | 標配 |
振鏡自動校準 | 標配 |
運動平臺行程 | ≥250mmX250mm |
定位精度 | ≤2μm |
重復精度 | ≤1μm |
X/Y軸驅動 | 直線電機+光柵尺 |
X/Y軸移動速度 | ≥500mm/s |
X/Y軸移動分辨率 | 0.5μm |
移動速度 | ≥500mm/s |
光路結構 | 紅外/紫外雙光路 |
AOD模塊 | 紫外波段配置 |
最高單脈沖控制頻率 | ≥1.2MHz |
設備平臺 | 花崗巖底座 |
密封光路 | 標配 |
可加工材料高度 | 50mm |
切割崩邊尺寸 | 10μm（和材料種類及厚度有關） |
打孔效率 | 400孔/min（和材料種類及厚度有關） |
金屬層去除效率 | ≥5cm2/min（和材料種類及厚度有關） |
可加工最小線寬間距 | ≤0.04mm |
外形尺寸（W*D*H） | 1450mmx1820mmx1750mm |
設備重量 | 1200kg |
工作環境 | FreeDo F5s |
功率 | 380VAC/50Hz |
電源 | 紅外/紫外雙波段 |
環境溫度 | 22℃±2℃ |
設備配套及選項 | FreeDo F5s |
設備驅動軟件 | DreamCreaTor 4 |
數據處理軟件 | CircuitCAM |
在線功率補償 | 標配 |
定深刻蝕 | 標配 |
自主專利激光剝銅算法 | 標配 |
3D顯微測量功能 | 標配 |
高階靶標識別及二次定位頭 | 標配 |
鋁制真空吸附工作臺 | 標配 |
激光防護玻璃 | 標配 |
金屬隔音機罩 | 標配 |
自動開蓋保護 | 標配 |
高階打孔功能 | 標配 |
清潔吸塵系統 | 210m?/hr，220V，1.5kW |
自動上下料 | 可定制 |
FFU正壓清潔裝置 | 選配 |
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